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发明名称 BURIED AIR DIELECTRIC ISOLATION OF SILICON ISLANDS
摘要
申请公布号 US5227658(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 US19910781429 申请日期 1991.10.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BEYER, KLAUS D.;KU, SAN-MEI;SILVESTRI, VICTOR J.;YAPSIR, ANDRIE S.
分类号 H01L21/76;H01L21/764;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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