发明名称 METHOD FOR ETCHING TUNGSTEN
摘要
申请公布号 JPH05175170(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910355214 申请日期 1991.12.20
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SUZUKI YASUHIRO;KOBAYASHI SATOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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