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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0553239(U)	申请公布日期	1993.07.13
申请号	JP19910103036U	申请日期	1991.12.13
申请人		发明人
分类号	C30B25/12;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	C30B25/12
代理机构		代理人
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