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发明名称
NEUTRAL VAPOR GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05174772(A)
申请公布日期
1993.07.13
申请号
JP19910344389
申请日期
1991.12.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
OKADA HIDETOSHI;NISHIO RYOJI;KOBANAWA AKIRA
分类号
C23C14/24;G21K1/00;H01J37/30;H05H3/02
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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