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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PROCESS CONTROL
摘要
申请公布号 JPH05173606(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910334722 申请日期 1991.12.18
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ENG CO LTD 发明人 INOUE HARUKI;YAHIRO MASAKAZU;SATO YOSHIYUKI
分类号 G05B13/02;G05B13/04 主分类号 G05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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