| 发明名称 |
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OF ENVIRONMENT CONTROL TYPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05174768(A) |
申请公布日期 |
1993.07.13 |
| 申请号 |
JP19910053811 |
申请日期 |
1991.02.26 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKASUJI MAMORU;SUZUKI SHOHEI;SHIMIZU HIROYASU |
| 分类号 |
H01J37/18;H01J37/244;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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