| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05175150(A) |
申请公布日期 |
1993.07.13 |
| 申请号 |
JP19920141807 |
申请日期 |
1992.06.02 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
SHIMOYAMA KENJI;GOTO HIDEKI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
