发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH05175153(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910356624 申请日期 1991.12.25
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 KATAGIRI KEIJI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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