发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05175114(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910342682 申请日期 1991.12.25
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 TATE YOSHIO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址