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发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH05172843(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910357669 申请日期 1991.12.25
申请人 OMRON CORP 发明人 SAKATA MINORU;SHIIKI MASAKAZU;HOSOYA KATSUMI
分类号 G01P15/12;H01L29/84 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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