| 发明名称 |
FORMATION OF CIRCUIT PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05175193(A) |
申请公布日期 |
1993.07.13 |
| 申请号 |
JP19910341173 |
申请日期 |
1991.12.24 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ITO YOSHIO;YAMAUCHI TAKAHIRO;MACHIDA TETSUSHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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