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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05175502(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910343442 申请日期 1991.12.25
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 HASHIZUME TSUTOMU
分类号 H01L27/12;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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