ION IMPLANTATION DEVICE,申请号JP19910338208-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05174777(A)	申请公布日期	1993.07.13
申请号	JP19910338208	申请日期	1991.12.20
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	YAMASHITA SABURO
分类号	H01L21/265;H01J37/317	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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