发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05175209(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910345413 申请日期 1991.12.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IWAI HIROSHI;KATSUMATA YASUHIRO;INOU KAZUMI;YOSHINO CHIHIRO;USUDA KOJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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