发明名称 METHOD OF FORMING SEMICONDUCTOR MULTILAYER FILM AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR LASER
摘要
申请公布号 JPH05175607(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19920156522 申请日期 1992.06.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MANNOU MASAYA;ONAKA SEIJI
分类号 H01S5/00;H01S5/042 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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