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发明名称
摘要
申请公布号
JP2695870(B2)
申请公布日期
1998.01.14
申请号
JP19880270657
申请日期
1988.10.28
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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