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发明名称 METHOD FOR FORMING THIN-FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 KR930006301(B1) 申请公布日期 1993.07.12
申请号 KR19900009730 申请日期 1990.06.29
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 MATSUDA, TETSUO;KANO, HARUO;IHIWA, TOKUHISA
分类号 C23C16/50;C23C14/22;C23C16/452;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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