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发明名称 METHOD FOR DETECTING END POINT OF DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH05175164(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910340569 申请日期 1991.12.24
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OSHIMA TOMOYUKI
分类号 G01B11/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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