| 发明名称 |
PRODUCTION OF MATERIAL FOR VAPOR-DEPOSITING SILICON MONOXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05171412(A) |
申请公布日期 |
1993.07.09 |
| 申请号 |
JP19910334795 |
申请日期 |
1991.12.18 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
HANANAKA KATSUYASU;KOBAYASHI TOSHIRO |
| 分类号 |
C08J7/06;C23C14/08;C23C14/24 |
主分类号 |
C08J7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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