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发明名称 MOLECULAR BEAM CELL
摘要
申请公布号 JPH05170590(A) 申请公布日期 1993.07.09
申请号 JP19910356796 申请日期 1991.12.26
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 TAKAKUSAKI MISAO;AKAMATSU KAZUHIRO;OZAKI TSUTOMU
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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