发明名称 FORMATION OF SILICON DIOXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH05171465(A) 申请公布日期 1993.07.09
申请号 JP19910344508 申请日期 1991.12.26
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 OTSUKI YASUO;KIKUTA TOSHIO
分类号 C01B33/12;C04B41/50;C23C26/00 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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