发明名称 DEVICE FOR GENERATING HIGH PRESSURE AND FINE FLOWRATE
摘要
申请公布号 JPH05172044(A) 申请公布日期 1993.07.09
申请号 JP19910353937 申请日期 1991.12.19
申请人 BABCOCK HITACHI KK 发明人 NOMURA MITSUGI
分类号 F04B23/00;H01L21/304 主分类号 F04B23/00
代理机构 代理人
主权项
地址