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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ASSEMBLYING AND DEASSEMBLYING TARGET PLATE IN VACUUM TREATMENT CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH05171429(A) 申请公布日期 1993.07.09
申请号 JP19920159976 申请日期 1992.05.08
申请人 BALZERS AG 发明人 IERUKU KERUSHIYUBAUMAA
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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