发明名称
摘要
申请公布号 JP2766315(B2) 申请公布日期 1998.06.18
申请号 JP19890144254 申请日期 1989.06.08
申请人 KYANON KK 发明人 YAMAGATA KENJI;KOMATSU TOSHUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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