| 发明名称 |
MANUFACTURE OF PROBE FOR INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05172561(A) |
申请公布日期 |
1993.07.09 |
| 申请号 |
JP19910344517 |
申请日期 |
1991.12.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KADO HIROYUKI;TODA TAKAO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q60/38;H01J9/14;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
