发明名称 SURFACE-SHAPE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05172540(A) 申请公布日期 1993.07.09
申请号 JP19910349295 申请日期 1991.10.31
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 IKI MAKOTO;MATSUO HIROBUMI;ONO MASAHIRO;NOGUCHI MASATO
分类号 G01B11/24;G01M11/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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