PIPING SYSTEM FOR SUPPLYING ULTRAPURE WATER

摘要

L'invention se rapporte à un système de canalisation permettant de fournir une eau ultrapure, ce système comprenant un tuyau supérieur s'étendant d'un purificateur d'eau ultrapure final à la partie terminale du système en passant par une série d'appareils utilisant l'eau ultrapure, un tuyau inférieur s'étendant de manière sensiblement parallèle au tuyau pour former un écoulement d'eau suivant la même direction que l'écoulement d'eau dans le tuyau supérieur, une multiplicité de tuyaux de raccordement s'étendant du tuyau supérieur au tuyau inférieur, des tuyaux de branchement s'étendant des tuyaux de raccordement vers les appareils où l'eau ultrapure est utilisée, et des vannes régulant le débit de l'eau s'écoulant dans les tuyaux de branchement. Le système se caractérise en ce que le tuyau supérieur est placé en une position plus élevée que le tuyau inférieur, et que les deux tuyaux sont reliés par les tuyaux de raccordement.