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经营范围
发明名称
MULTIPLE SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05171433(A)
申请公布日期
1993.07.09
申请号
JP19910353234
申请日期
1991.12.17
申请人
CLARION CO LTD
发明人
KOJIMA KIYOAKI
分类号
C23C14/34;C23C14/50
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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