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发明名称 APPARATUS AND METHOD AND SHIELDING A WORKPIECE HOLDING MECHANISM FROM DEPRECIATIVE EFFECTS DURING WORKPIECE PROCESSING
摘要
申请公布号 IL105030(D0) 申请公布日期 1993.07.08
申请号 IL19930105030 申请日期 1993.03.11
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人
分类号 C23F1/08;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;H01L27/12;(IPC1-7):B23H/ 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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