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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR WITH SHORT HYDROGEN PASSIVATION TIME
摘要
申请公布号 KR0162928(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19940023835 申请日期 1994.09.22
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 HAMADA, GOJI
分类号 H01L21/316;H01L21/30;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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