SUPERCONDUCTING FIELD EFFECT DEVICES AND METHODS OF THEIR FABRICATION

摘要

Dispositif supraconducteur à effet de champ comprenant un substrat (1) portant une couche supraconductrice épitaxiale (3) et une couche isolante (24) déposée sur une zone mince de la couche supraconductrice et destinée à protéger celle-ci de l'atmosphère et à l'isoler d'une électrode de grille (25) située sur la couche isolante au-dessus de la zone d'un canal de la couche mince. La couche épitaxiale possède des surépaisseurs (2) adaptées pour entrer en contact avec des électrodes de source et de drain (4). Les électrodes de grille peuvent être isolées des deux faces des zones minces supraconductrices, et opposées à celles-ci, de manière à assurer une modulation améliorée d'un courant dans la zone mince. On obtient ainsi des commutateurs et modulateurs rapides à efficacité élevée.