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发明名称 Arc control and switching element protection for pulsed DC power supply
摘要
申请公布号 GB2306511(B) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 GB19960011416 申请日期 1996.05.31
申请人 * ENI 发明人 JEFF CREW * SELLERS
分类号 C23C14/34;C23C14/38;C23C14/54;H01F41/18;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/54;C23C14/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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