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发明名称
INSPECTING METHOD FOR PROBE CARD
摘要
申请公布号
JPH05166892(A)
申请公布日期
1993.07.02
申请号
JP19910329046
申请日期
1991.12.12
申请人
TOKYO KASOODE KENKYUSHO:KK
发明人
KATO MAMORU;TAKEUCHI OSAMU;FUJII MASAYUKI;KAKIMOTO ATSUHIRO;HASHIMOTO TSUTOMU;OTA SADACHIKA
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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