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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH05166807(A)
申请公布日期
1993.07.02
申请号
JP19910330355
申请日期
1991.12.13
申请人
SHARP CORP
发明人
TANIGUCHI KOJI
分类号
H01L21/208;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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