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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05167012(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910350915 申请日期 1991.12.11
申请人 SONY CORP 发明人 WATANABE SEIICHI;USUI SETSUO;SAMEJIMA TOSHIYUKI;HIDA YASUHIKO
分类号 H01L21/20;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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