FORMATION OF CONTACT HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19910333196-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF CONTACT HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05166940(A)	申请公布日期	1993.07.02
申请号	JP19910333196	申请日期	1991.12.17
申请人	OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	HASHIMOTO JUN
分类号	H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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