| 发明名称 |
MONITORING DEVICE FOR JUDGMENT OF SEMICONDUCTOR PROCESS END POINT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05166905(A) |
申请公布日期 |
1993.07.02 |
| 申请号 |
JP19910331699 |
申请日期 |
1991.12.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
USUI TAKETO;SASABE SHUNJI;KATO SEIICHI |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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