发明名称 LEAD TERMINAL FLATNESS MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05166907(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910354760 申请日期 1991.12.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 DEGUCHI YOSHINOBU;MATSUI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/66;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L23/50;H04N1/387 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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