发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05167071(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910331832 申请日期 1991.12.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MINAMI FUYUMI
分类号 H01L29/40;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/40
代理机构 代理人
主权项
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