发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05167003(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910351992 申请日期 1991.12.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOMURO KATSUYA
分类号 H01L25/18;H01L25/04 主分类号 H01L25/18
代理机构 代理人
主权项
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