发明名称 METHOD FOR OVERLAPPING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH05166747(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910350951 申请日期 1991.12.11
申请人 SONY CORP 发明人 HASHIMOTO MAKOTO
分类号 H01L21/02;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/324;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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