发明名称 METHOD OF DETECTING HEAT-GENERATING PART OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH05166912(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910334980 申请日期 1991.12.18
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HAMAGISHI KENJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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