| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05166946(A) |
申请公布日期 |
1993.07.02 |
| 申请号 |
JP19910335361 |
申请日期 |
1991.12.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HAYAKAWA TOSHIYUKI;ARAKI HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/768;H01L21/8234;H01L23/522;H01L27/06 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
