发明名称 ION BEAM NEUTRALIZING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05166487(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910327786 申请日期 1991.12.11
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAITO KATSUO
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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