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经营范围
发明名称
ION BEAM NEUTRALIZING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05166487(A)
申请公布日期
1993.07.02
申请号
JP19910327786
申请日期
1991.12.11
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
NAITO KATSUO
分类号
C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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