| 发明名称 |
METHOD FOR POSITIONAL DETECTION AND EXPOSURE SYSTEM USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05166695(A) |
申请公布日期 |
1993.07.02 |
| 申请号 |
JP19910352294 |
申请日期 |
1991.12.13 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
OTSU YOSHIAKI;SAITO KENJI |
| 分类号 |
G02B5/18;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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