发明名称 DIE BONDING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH05166855(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910329335 申请日期 1991.12.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AKAMA MITSUYOSHI
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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