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摘要
申请公布号
JPH0543304(B2)
申请公布日期
1993.07.01
申请号
JP19860283616
申请日期
1986.11.28
申请人
SANKEN ELECTRIC CO LTD
发明人
KYOMURA AKIO
分类号
H01L21/306;H01L21/308;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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