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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KONTAKTES ZWISCHEN EINEM METALL UND EINEM VERBINDUNGSHALBLEITER MIT HOEHEREM BANDABSTAND UND KONTAKT ERHAELTLICH DURCH DIESES VERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE3783162(T2) 申请公布日期 1993.07.01
申请号 DE19873783162T 申请日期 1987.05.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 JACKSON, THOMAS NELSON, PEEKSKILL, N.Y. 10 566, US;MURAKAMI, MASANORI, GOLDENS BRIDGE, N.Y. 10 526, US;PRICE, WILLIAM HENRY, MILLWOOD, N.Y. 10 562, US;TIWARI, SANDIP, OSSINING, N. Y. 10 562, US;WOODALL, JERRY MAC PHERSON, BEDFORD HILLS, N.Y. 10 507, US;WRIGHT, STEVEN LORENZ, YORKTOWN HEIGHTS, N.Y. 10598, US
分类号 H01L21/20;H01L21/28;H01L29/43;H01L29/45;(IPC1-7):H01L29/40;H01L29/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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