VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KORREKTUR DER FOKUSSIERUNG IN EINER LITHOGRAPHISCHEN VORRICHTUNG.,申请号DE19863688475-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KORREKTUR DER FOKUSSIERUNG IN EINER LITHOGRAPHISCHEN VORRICHTUNG.
摘要
申请公布号	DE3688475(D1)	申请公布日期	1993.07.01
申请号	DE19863688475	申请日期	1986.02.21
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	JULIANA, ANTHONY, JR., SAN JOSE CALIFORNIA 95120, US;LATTA, MILTON RUSSELL, SAN JOSE CALIFORNIA 95139, US;SINCERBOX, GLENN TAVERNIA, SAN JOSE CALIFORNIA 95120, US;WILLSON, CARLTON GRANT, SAN JOSE CALIFORNIA 95126, US
分类号	H01L21/30;G01B11/00;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):G03B41/00	主分类号	H01L21/30
代理机构		代理人
主权项
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