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发明名称
METALLIZATION PROCESSING
摘要
申请公布号
EP0425147(A3)
申请公布日期
1993.06.30
申请号
EP19900311205
申请日期
1990.10.12
申请人
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY
发明人
MANOCHA, AJIT SINGH;RANA, VIRENDRA VIR SINGH
分类号
H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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