发明名称 METALLIZATION PROCESSING
摘要
申请公布号 EP0425147(A3) 申请公布日期 1993.06.30
申请号 EP19900311205 申请日期 1990.10.12
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 MANOCHA, AJIT SINGH;RANA, VIRENDRA VIR SINGH
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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